実績紹介

主な実績

逆光電子分光装置

表面物性研究用

到達真空度 5×10-8 Pa

納入先:京都大学化学研究所

有機溶剤を用いたウェットエッチング装置

高精度の雰囲気制御と温度制御で、マスクやウェハーのエッチングを行う

納入先:NTT厚木通研

品質評価の試験装置

11軸パルスモータ制御による商品評価の試験装置